First-NanoSystemGmbH2003年创立于德国德累斯顿工业大学（DresdenUniversityofTechnology）2008年香港成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司2015年上海成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司中国代表处，负责中国区业务2018年深圳正式成立韦氏纳米系统（深圳）有限公司，更好的为中国南方区市场产品范围：薄膜沉积/ThinFilmDepositionE-BeamandThermalEvaporation,PECVD,PLD,DLC,DC&RFSputtering,IonBeamSputtering刻蚀/EtchingRIE,DRIE,ICP,IonBeamMilling,RIBE,Plasma,ALE薄膜制程/GrowthALD,PA-MOCVD,CNT,Graphene表面处理/SurfaceTreatmentIonBeam,PIII,PlasmaCleaner,RTP清洗/Cleaning-Dry:IonBeam,PlasmaCleaner-Wet:Megasonic,杜邦EKC清洗液