2012年SemiconWest，AGS公司推出一个新型的，桌面式TT-150—RIE/CVD系统，非常经济实用，对世界各地大学，研究所来说这样如此特色的RIE和CVD应用是非常***的。模块化的TT-150适合半导体MEMS，TFT，PV的2寸---6寸应用。AGSTT等离子系统在一个平台上提供了所有的功能特征RIE，PECVD，和等离子刻蚀PE都能在一个易操作，低维护，实用简单的平台上实现，同时可以根据您的工艺要求升级您的需求当您需要更换工艺技术是，腔体的部件，材料，进气装置提供更多的工艺扩展AGS依靠公司丰富的经验为新工艺开发提供低成本的***的技术资源便于提前研发***的领域技术桌面式，占地面积小，节省实验室空间工艺控制简单，易于使用者操作兼容等离子刻蚀PE和PECVD，成本低)