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高纯二氧化碳品牌纯度在 99.9999%以内的气体管道 ,采用304 不锈钢球 阀,可以采用法兰连接 ,法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片、总杂质含量≤10ppm的气体管道, 采用用隔膜阀和波纹管阀。
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所有高纯二氧化碳品牌体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在高纯二氧化碳品牌气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。
当高纯二氧化碳品牌管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。
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半导体产业因其生产工艺复杂 、加工精细 ,它不仅要求有洁净的生产环境 , 而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求。
瓶露天使用时应加以防护, 防止生锈和侵蚀, 库存瓶要定期检查, 色标、合格证、泄漏等如不清楚、有疑问, 应及时和厂家联系, 分析确认后才可使用。
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