电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等

电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的扫描电镜上，电磁透镜。通常会装配两组：汇聚透镜和物镜，汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成象会焦无关；物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

扫描线圈的作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步，因为它们是由同一扫描发生器控制的。

价钱便宜使用普遍的是钨灯丝

价钱便宜使用普遍的是钨灯丝，以热游离 (Thermionization) 式来发射电子，电子能量散布为 2 eV，钨的功函数约为4.5eV，钨灯丝系一直径约100μm，弯曲成V形的细线，操作温度约2700K，电流密度为1.75A/cm2，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。

六硼化镧(LaB6)灯丝的功函数为2.4eV，较钨丝为低，因此同样的电流密度，使用LaB6只要在1500K即可达到，而且亮度更高，因此使用寿命便比钨丝高出许多，电子能量散布为 1 eV，比钨丝要好。但因LaB6在加热时活性很强，所以必须在较好的真空环境下操作，因此仪器的购置费用较高。

钛合金具有比强度高、耐腐蚀性好、耐热性好等诸多优点

虽然钛合金具有比强度高、耐腐蚀性好、耐热性好等诸多优点，但单一的钛合金材料在实际应用中也存在很多缺点，比如表面硬度较低、摩擦系数高、易磨损、高温（600 ℃ 以上）易氧化等[2,3]。这使钛合金作为关键运动副零部件，尤其是在高温环境工作时，表面易发生氧化腐蚀和严重磨损，在生产应用中，常需要通过表面处理技术，使钛合金在保持高比强度的同时，具有优异的耐磨和高温化性能[4]。