天津场发射扫描电镜价格即时留言「迈基尔」
作者:迈基尔2022/8/20 0:47:07

背散射电子是由样品“反射”出来的

背散射电子是由样品“反射”出来的入射电子,其主要特点是:

(1)能量高,从50eV到接近入射电子的能量。

(2)穿透能力比二次电子强得多,可从样品中较深的区域逸出(微米级),在这样的深度范围,入射电子已有相当宽的侧向扩展,因此在样品中产生的范围大,图像分辨率较低;

(3)背散射电子产额随原子序数增大而明显增加,即样品平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号,在荧光屏上形成较亮的区域;而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子,在荧光屏上形成较暗的区域,这样就形成原子序数衬度(成分衬度)。

与二次电子像相比,背散射像的分辨率要低,主要应用于样品表面不同成分分布情况的观察,比如有机无机混合物、合金等。


当后向散射电子作为调制信号时,由于其能量高、穿透性强,可以从

当后向散射电子作为调制信号时,由于其能量高、穿透性强,可以从样品较深的区域逃逸(约为有效效应的30%深度).在深度范围内,入射电子横向扩展,因此背散射电子像的分辨率比二次电子像的分辨率低,一般在500-2000nm左右.如果将吸收电子、x射线、阴极发光、束流诱导电导或电位作为调制信号的其他工作模式,由于信号来自整个电子束散射区,因此获得的扫描图像的分辨率相对较低,一般在1000纳米或10000纳米以上之间.


二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分

电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。

有些探测器造价昂贵,比如Robins式背散射电子探测器,这时,可以使用二次电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。


电子束能量越大,弹性碰撞截面积越小,电子行走路径倾向直线而可

在固定电子能量时,作用体积和原子序成反比,乃因弹性碰撞之截面积和原子序成正比,以致电子较易偏离原来途径而不能深入样品。电子束能量越大,弹性碰撞截面积越小,电子行走路径倾向直线而可深入样品,作用体积变大。 电子束和样品的作用有两类,一为弹性碰撞,几乎没有损失能量,另一为非弹性碰撞,入射电子束会将部份能量传给样品,而产生二次电子、背向散射电子、俄歇电子、长波电磁、电子-空位对等。这些信号可供SEM运用者有二次电子、背向散射电子、阴极发光、吸收电子及电子束引起电流(EBIC) 等。


商户名称:迈基尔科技(天津)有限公司

版权所有©2024 产品网