真空泵机械选择：

       真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

       正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵），两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

       真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

       真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

       真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

螺杆干式真空泵的性能特点：

1、工作腔内无任何介质，可获得洁净真空。

2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。

3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。

4、单台螺杆真空泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。

5、水温对真空影响小，节水达90%以上，甚至可以不耗水。

6、不耗油，无滴漏。

7、旋转部件间无摩擦，可高速运转，整机体积小。

8、结构简单，维护方便。

9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。