电子束焊机用高压电源的操作是必须与有关系统进行连锁保护，主要有真空连锁、阴极连锁、闸阀连锁、聚焦连锁等，以确保设备和人身安全。高压电源必须符合EMC标准，具有软起动功能，防止突然合闸对电源的冲击。这种电源由于功率大（达30kW），输出电压高（150kV），工作频率较高（20kHz），而对稳定精度、纹波及电压调节率均有较高的要求。选用***的三相全控可控整流技术、大功率高频逆变器，用新型功率器件IGBT作为功率开关。


触发脉冲经过脉冲变压器隔离后经过预调器脉冲，功率放大后去触发调制板和截尾板工作。由预调器产生的激励脉冲经过变压器隔离去驱动调制板的每一只场效应管，此时调制板导通高压电源送到微波三极管的阳极，微波三极管的阴极电子开始发射，微波三极管将送入输入端的小功率高频信号放大成大功率的高频信号。当脉冲结束时，由预调器产生的截尾脉冲去触发截尾板，截尾板导通后将微波三极管的分布电容释放，所以可以得到很好的脉冲后沿。


线性调整率一般为0.05%～0.1%/V，有的可达0.01%/V；负载调整率一般为0.3～0.5%/mA，有的可达0.01%/mA。新型组合式电源IC：升压式DC/DC 变换器的但纹波及噪声电压较大，低压差线性稳压器效率低但噪声，这两者结合组成的双输出电源IC 可较好地解决效率及噪声的问题。例如，数字电路部分采用升压式DC/DC 变换器电源而对噪声敏感的电路采用LDO 电源。这种电源IC 有MAX710/711，MAX1705/1706 等。