可燃物在催化剂作用下燃烧。与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的和金属氧化物多组分物质。通常VOCs的自燃烧温度较高，通过催化剂的活化，可降低VOCs燃烧的活化能，从而降低起燃温度，减少能耗，节约成本。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO：和H：O，同时放出大量热。起燃温度低，反应速率快，节省能源。催化燃烧过程中，催化剂起到降低VOCs分子与氧分子反应的活化能，改变反应途径的作用。

催化燃烧技术作为新的VOCs处理工艺之一，因为其净化率高，燃烧温度低（一般低于350℃），燃烧没有明火，不会有NOx等二次污染物的生成，安全节能环保等特点。适用于低浓度大风量或高浓度间歇排放废气的作业环境。电子原件生产、电池生产、酸洗作业、实验室排风、冶金、化工、、涂装、轻工、橡胶、船舶、汽车、石油、喷漆、酿造及家具生产等行业废气净化。催化燃烧的放热反应是不可逆的，所以，不管反应进行到什么阶段，都应在尽可能高的温度下进行，以获得较高的转化速度。但操作温度往往受某些条件的限制，如催化剂的耐热温度、高温材料的获得，热能的供应，以及是否伴有副反应等，因此实际生产中应根据实际情况恰当地选择。

处理，二次污染物和温室气体排放量少。采用催化燃烧处理VOCs废气的净化率通常在95%以上，终产物主要为CO2和H2O。由于催化燃烧温度低，大量减少NOx的生成。辅助燃料消耗排放的CO2量在总CO2排放量中占很大比例，辅助能源消耗量减少，显然减少了温室气体CO2排放量。热稳定性好。由于废气的温度随时改动，如果催化剂不能习惯必定范围内的温度改动，催化剂的功用就会下降，净化效率就会下降。因而，催化剂具有习惯必定范围内的温度改动。催化燃烧设备四大系统配置：在有机物废气的催化燃烧中，所要处理的有机物废气在高温下与空气混合易引起，安全问题十分重要。必须控制有机物与空气的混合比使之在下限。设备配有阻火除尘系统、防爆泄压系统、超温报警系统及***自控系统。