真空辅助开关的结构，真空辅助开关的触头采用真空舌簧管，其两端与接线端焊接固定，再用环氧树脂密封于聚碳酸酯绝缘定盘中。触头的通断由装在方轴上嵌有永世磁钢的转轮控制。触头的通断靠磁场的近远，转轮不与触头机械接触，因此方轴转动笨重灵活。目前国内几家制造厂的真空辅助开关的整体结构布置都是仿照F6型(每节双触头)设计的。主要是思索F6型在国内应用比较普遍，使其安装尺寸、接线方式、转轴衔接等与F6型兼容可以互换。当然，改动设计也可以与其它型号辅助开关兼容互换。

因此设计了速动装置，以进步触头分合速度，加强灭弧效果，处置辅助开关开断才干问题。至于断路器，其分、合闸速度较高，普通分、合闸时间为20～150ms与其同步动作的辅助开关分合速度也较高，电弧容易熄灭，因此不用带速动装置。而且当断路器动作与辅助开关速动装置不同步时，可能损坏速动装置，影响辅助开关的机械寿命，带了速动装置***无益。真空辅助开关，有的厂家相应也分为两种，但有的厂家一概带速动装置，选用时应留意。

电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。当泵出现故障时，泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器，有按钮控制，可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主按钮操作。