液体的气化水平与压力的大小、热度上下无关。溶化于液体中的气体，在压力和热度变迁时也会开释进去，构成气穴。在那样工况下，任何真空泵都会产生汽蚀，所以不管真空泵的构造如何、压缩比多大，它在真空泵的吸入侧均构成相反的真空，管保会产生汽蚀。真空泵作业时，尽可能务求在区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的海域内运行；应防止在大真空度或大排气压力左近运行。

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵油的饱和蒸汽压，饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低，在泵的高工作温度下，仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6．5×10-5 kPa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。