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要求测量时防止污染流体

若测量洁净气体和纯水常不允许接触流体的仪表零件材料析出离子，例如半导体制备中仪表不能用金属和玻璃制成，只能用塑料。流体中也不允许混入活动件的磨蚀尘粒。

其优点是不受黏度、密度、流速分布影响，可测量高黏度液体；缺点是有活动部件会产生磨损微粒，压损相对较大。

齿轮式仪表小满度流量为4L/min,精que度为±0.5%；椭圆齿轮式仪表小满度流量为0.1L/min，精que度为±2%，范围度低黏度液体为10:1，中等黏度液体为100:1，高黏度液体则更高。

若使用场所不容许加热升温，则可采用帕耳帖效应（Peltier Effect当有电流通过不同的导体组成的回路时,除产生不可逆的焦耳热外,在不同导体的接头处随着电流方向的不同会分别出现吸热、放热现象。这是J.C.A.珀耳帖在1834年发现的。

制冷型热式流量计，（美）Estech公司LF系列仪表满度流量在0.01-100g/min范围内有9种规格，响应时间2s。所幸流量小，用实际使用流体校准难度不大，但在作***性流体校准时应注意安全和环境污染。热式流量计测量质量流量，气体仪表通常用空气校准，空气、氮气等温度压力变化不大时（100℃，1Mpa以内），测量值所受影响***，测量其他气体时用系数换算。