原理：低压吸附真空解吸，在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。独创的变频跟踪技术使臭氧发生器运行功率达到5-7Kw/Kg，低于世界同行业水平，为用户节约大量的运行成本。与PSA相VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。

技术指标

◆产品规模：100-10000Nm3/h

◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。

◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3

◆氧气压力：≤20kpa（可增压）

◆年开功率：≥95%

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臭氧发生器采用氧气源是臭氧技术的一个重大进步。和采用空气源相比，氧气气源使臭氧发生器臭氧功能发生巨大变化。

　　氧气源 使臭氧出口浓度提高 8-10 倍。 空气源臭氧发生管出口浓度高为 9-11mg/L, 低小于 1mg/L 。而采用氧气，出口浓度可达 80-130mg/L 。

　　氧气源 使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。 高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。有些***病毒用空气源臭氧很难，采用氧气源臭氧就很容易。有些化合物只有采用氧气源臭氧才能氧化

采用生物—臭氧氧化技术对垃圾渗滤液进行了研究.结果表明:生物处理可以去除垃圾渗滤液的CODCr;随着氧化时间的延长,去除率随之增大; 在碱性条件下进行臭氧氧化,pH值越高,CODCr去除效率越高.采用BOD5/CODCr来表征垃圾渗滤液的生物降解性,研究了臭氧氧化前后垃圾渗滤液 生物处理出水的生物降解性变化规律,表明臭氧氧化可以提高垃圾渗滤液生物处理出水的生物降解性,但提高的幅度不大.采用色谱-质谱法对臭氧氧化前后垃圾渗 滤液成分进行分析,结果表明:臭氧氧化前后废水中的主要成分没有发生变化,这些物质多为长链烷烃;臭氧氧化使废水中的部分物质发生了结构上的变化,这些物 质多为可降解物质.