厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
厦门太星长期致力服务于高等院校科研所，半导体、微电子、新能源和相关的太阳能电池等高科技产业,为他们提供供气解决方案。
本项目配备有：特气柜GC、单瓶高压控制面板、管道输送系统设备、阀门分配箱VMB、终端二次调压面板VMP、二次配、泄漏报警系统。
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
3、所有气体管路的连接为无缝自动焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。
4、工作台上气体出口由单独的阀门来控制
5、气体管路要有明确表标示，同时指示气体的流向。
高纯气体系统种类：
简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的***预算低。
3.大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等)，100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3)，发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的***规模巨大，采用***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
版权所有©2024 产品网
