厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成,公司提供国外及国内厂家生产的真空泵,检漏仪,分子泵,扩散泵,水环真空泵,螺杆真空泵,罗茨泵,真空测量,真空泵油及其备品备件。
高真空油扩散泵是一种蒸气射流泵,其工作原理是把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作极限真空度在10-2~10-5 Pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 Pa范围内。
扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。
现代的油扩散泵在泵入口处,泵油的返流已降至大约室温下泵油蒸发速率的水平。
只有在使用时遵守一定的操作规程,才能保证系统的正常工作。前已详细叙述过有关机械泵、扩散泵的操作规程。经人们生产实践,对排气系统,也同样总结出来一套操作规程。以高真空排气系统为例(其他真空设备可仿照施行),其操作规程如下:①检查真空系统各部分,熟悉系统的气路结构,了解真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接。②关闭放气阀门,启动机械泵,对系统进行抽气,并随时用火花检漏器对系统各部分进行检漏。如系全金属系统,则可关闭阀门,用真空计读数记下P-t曲线(作静态升压试验)。如压强随时间呈直线上升,可断定系统有漏气源,应进行检漏。③当系统真空度达到油扩散泵的前置压强(5×10-2托)后,启动扩散泵,使加热电流逐渐升到额定(佳)值。在启动扩散泵前,必须先开冷却水。④扩散泵正常工作后,用火花检漏器(或热偶计)判断量测系统的真空度。到10-3托以上(热偶计近满偏或95格以上)才能使用电离真空计。使用时先对规管除气,后测量真空度。
扩散泵维修***对系统进行烘烤去气处理。对玻璃系统而言,硬玻璃烘烤温度为400℃~450℃ ,软玻璃为350℃~400℃ 。去气时间视具体要求而定,一般1~2小时。去气完后,真空度仍达不到要求,应使用电离计记P-t曲线,以判断是否漏气。亦可用、酒精等涂抹处,看表针的摆动以发现漏孔。若为去气不良,应进一步烘烤,加长时间去气。新系统一般要抽较长时间才能达到预期的真空度。真空度老上不去,则要考虑系统设计、安装是否合理,有无死空间,放气源多否,维修时是否带进了脏物,被抽容器是否清洁等其他因素。
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