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扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为保证真空镀膜机的正常稳定运行，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和***就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与***知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

锅炉内泵油的不稳定沸腾，会使喷出的蒸汽射流的密度波动，从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热，使之有一段爆沸的时间，其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉，增加内表面积，降低热流密度，增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中，强力的爆沸，会引起自爆升腾，对喷咀，引起瞬间堵塞，造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响，因对轻气体压缩比低，可引起压力的不稳定，增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器，可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续，导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降，不使其过冷。来自橡胶密封的气泡，有时油捕集气体，通过密封胶圈渗透放出，因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出，可使不稳定减少，若用金属垫圈就更好了。设计良好的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时，操作不当，扩散泵系统有发生的***。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范，定期检查泵油的质和量。

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。