粗糙和轮廓测量仪器像散测定法

其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时，则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py，Qy，Sy以后光束便发散由于X轴，Y轴方向上成像位置的不同，光束成椭圆状，如图4所示，故光点远离物镜时，则为长轴在Y轴上的椭圆;相反，靠近物镜时，则为长轴在X轴上的椭圆，用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器，光束经光电转换后再放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号，这种方法分辨力可达到纳米级别，但测量范围较小。

轮廓测量仪器分类

A.测径轮廓仪,可用于物体尺寸的非接触测量与控制，如零件高度、边缘、直径、线径、宽度、间隙、内径、外径等,例如ZM100激光幕帘直径测量仪有三种型号，分别为ZM100-25、ZM100-25D、ZM100-5。大可以测量59mm的物体直径，极大的方便了对大型物体直径的实际检测。B.三维轮廓仪，适用于动作、动画、虚拟现实、教育、科研等应用领域。

德国业纳检测设备工作原理

红外线测量光幕使用同步扫描来识别被挡通道。首先一个发光器通道发出光脉冲而对应的受光器同时来寻找该脉冲，当找到后即完成一个通道的扫描，接着转向下一个通道，直到所有的扫描都完成。当一个周期扫描完成后，系统记录哪些通道通光，哪些通道被遮挡，根据系统定义输出一个信号，该信号可以是模拟量信号、开关量信号、也可以是RS485通讯信号。