粗糙和轮廓测量仪器传感器

传感器的线圈与测量线路直接接入由后续装备成的平衡电桥， 线圈电感量的变化使电桥失去了平衡， 于是就激发输出一个和触针上下位移量大小比的电量， 此时的这一电量比较微弱， 不易被察觉， 需要用电子装置将这一微弱电量的变化放大， 再经相敏检波后， 获得能表示触针位移量大小和方向的信号。 信号又可分为三路： 一路加载在指示表上， 以表示触针的位置； 一路输送至直流功率放大器， 放大后推动记录器进行记录； 一路经滤波和平均表放大器放大之后， 进入积分计算器， 进行积分计算， 由指示表直接读出表面粗糙度参数值。

粗糙和轮廓测量仪器散斑法

激光散粗糙和轮廓测量仪器班图一般反映了被激光照射表面的微观结构情况，但要从中直接得出表面参数的信息是非常困难的，特别在用单色光照明粗糙表面时，由于非常粗糙表面所形成的散斑并不完全由粗糙度决定，因此用散斑测量表面粗糙度时，只在一定的范围内合适在某些情况下，由于表面过于光滑而无法用电子散斑干涉仪进行测量，而有时也有可能由于表面过于粗糙而无法测量，故此时可用银***的喷漆作为辅助手段，其形状差条纹的灵敏度可高达10μm。

德国业纳检测设备投光器

投光器发出的光直射到，形成光幕系统。放置在投光器和之间的目标物体将会阻挡一部分光线使其不能射到相应的器件。光幕系统使用同步扫描来识别被挡的通道，首先一个投光器通道发出光脉冲而对应的同时来寻找该脉冲，当找到后立即完成一个通道的扫描；接着转到下一个通道直至所有光学通道都完成次的扫描。从光学通道进入扫描开始到所有光学通道都完成.