粗糙和轮廓测量仪器散斑法

激光散粗糙和轮廓测量仪器班图一般反映了被激光照射表面的微观结构情况，但要从中直接得出表面参数的信息是非常困难的，特别在用单色光照明粗糙表面时，由于非常粗糙表面所形成的散斑并不完全由粗糙度决定，因此用散斑测量表面粗糙度时，只在一定的范围内合适在某些情况下，由于表面过于光滑而无法用电子散斑干涉仪进行测量，而有时也有可能由于表面过于粗糙而无法测量，故此时可用银***的喷漆作为辅助手段，其形状差条纹的灵敏度可高达10μm。

粗糙和轮廓测量仪器像散测定法

其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时，则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py，Qy，Sy以后光束便发散由于X轴，Y轴方向上成像位置的不同，光束成椭圆状，如图4所示，故光点远离物镜时，则为长轴在Y轴上的椭圆;相反，靠近物镜时，则为长轴在X轴上的椭圆，用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器，光束经光电转换后再放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号，这种方法分辨力可达到纳米级别，但测量范围较小。

德国业纳检测设备投光器

投光器发出的光直射到，形成光幕系统。放置在投光器和之间的目标物体将会阻挡一部分光线使其不能射到相应的器件。光幕系统使用同步扫描来识别被挡的通道，首先一个投光器通道发出光脉冲而对应的同时来寻找该脉冲，当找到后立即完成一个通道的扫描；接着转到下一个通道直至所有光学通道都完成次的扫描。从光学通道进入扫描开始到所有光学通道都完成.

德国业纳检测设备

1、单值量具

只能体现一个单一量值的量具。可用来校对和调整其它测量器具或作为标准量与被测量直接进行比较，如量块、角度量块等。

2、多值量具

可体现一组同类量值的量具。同样能校对和调整其它测量器具或作为标准量与被测量直接进行比较，如线纹尺。

3、 量具

专门用来检验某种特定参数的量具。常见的有：检验光滑圆柱孔或轴的光滑极规，判断内螺纹或外螺纹合格性的螺纹量规，判断复杂形状的表面轮廓合格性的检验样板，用模拟装配通过性来检验装配精度的功能量规等等。