粗糙和轮廓测量仪器传感器

传感器的线圈与测量线路直接接入由后续装备成的平衡电桥， 线圈电感量的变化使电桥失去了平衡， 于是就激发输出一个和触针上下位移量大小比的电量， 此时的这一电量比较微弱， 不易被察觉， 需要用电子装置将这一微弱电量的变化放大， 再经相敏检波后， 获得能表示触针位移量大小和方向的信号。 信号又可分为三路： 一路加载在指示表上， 以表示触针的位置； 一路输送至直流功率放大器， 放大后推动记录器进行记录； 一路经滤波和平均表放大器放大之后， 进入积分计算器， 进行积分计算， 由指示表直接读出表面粗糙度参数值。

粗糙和轮廓测量仪器

光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法，它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上，光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状，解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题，避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理，所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度，要受物镜的景深和鉴别率的限制。峰谷高度超出一定的范围，就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作，所以还在被广泛应用，如上海光学仪器厂生产的9J(BQ)光切法显微镜。

轮廓测量仪器主要优点

传感器的触针由金刚石制成，针尖圆弧半径为2微米，在触针的后端镶有导块，形成一条相对于工件表面宏观起伏的测量的基准，使触针的位移仅相对于传感器壳体上下运动，所以导块能起到消除宏观几何形状误差和减小纹波度对表面粗糙度测量结果的影响。传感器以铰链形式和驱动箱连接，能自由下落，从而保证导块始终与被测表面接触。TalySurf6采用的是电感式传感器，其工作原理简述如下。传感器的一端装有触针，其表面与被测表面接触，当传感器以匀速水平移动时，被测表面的峰谷使探针产生上下位移，使敏感元件的电感发生变化，从而引起交流载波波形发生变化。