真空机组工作原理

真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

无油超高真空机组

不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:

①可获得清洁真空、无污染源;

②当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;

③如突然抽气停止，不会污染系统;

④无油、无声、无振动，改善了工作环境;

⑤极限真空度高，抽速大，抽气时间短。

真空机组

真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将***放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染、氧化等；或是前级管路密封不好，泵油不足;或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。