真空泵的特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

真空泵在真空系统中承担着怎样的责任

1、高泵

高泵是指在高真空范围工作的泵。

2、超高泵

超高泵是指在超高真空范围工作的泵。

3、增压泵

增压泵通常指工作在低泵和高泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

4、粗泵或低泵

粗、低泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的泵。

在真空系统中，真空泵是不可少的，它所要承担的事项也是不可忽略的。

真空泵表面清洁的重要性

在真它系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个气源，这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右，而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层的微小程度。当装配真空系统时，必须用液体对其表面进行化学清洗，并要求清洗液在蒸发干燥后，其残留物完全可忽略不计。此外，用于清洗的液体的蒸气压必须足够高，以便在不太长的时间内可以挥发、干燥。