氦质谱检漏仪的原理

正常运行时，空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大气。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏仪，在真空系统的漏点处喷氦气，由于氦质谱检漏仪工作时能形成比水环式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦气与空气的混合元体，有一部分被吸入到氦质谱检漏仪，由于氦分子质量与其他分子质量不一样，通过磁场产生的偏转磁力不一样，氦质谱检漏仪上设计有一狭缝，刚好使氦分子通过而其他分子无法通过，这样，通过狭缝后的氦分子打在收集板上，通过靶板计数，即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。

真空法氦质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确***; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

氦质谱检漏仪的环境条件

氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天华诚浩达的小编就和大家来说一下，氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助！

校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ，校准过程中室温变化不超过± 1℃ ，环境相对湿度不大于80% 。

校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。

环境温度较好控制在23℃ 附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。