氦质谱检漏仪的原理

正常运行时，空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大气。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏仪，在真空系统的漏点处喷氦气，由于氦质谱检漏仪工作时能形成比水环式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦气与空气的混合元体，有一部分被吸入到氦质谱检漏仪，由于氦分子质量与其他分子质量不一样，通过磁场产生的偏转磁力不一样，氦质谱检漏仪上设计有一狭缝，刚好使氦分子通过而其他分子无法通过，这样，通过狭缝后的氦分子打在收集板上，通过靶板计数，即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。

氦质谱检漏仪检漏方式

1、示踪气体A放在容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外围是否有气体A，如果容器外有气体A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。

2、示踪气体A喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体A。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。

氦质谱检漏仪的结构

收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子流一般只有10-13?10-12A，要使小电流放大器diyi极输入信号电压够大，则输入电阻必需很大。diyi级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电许管放在高真空的质谱室中。