真空泵的***

　真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时***或根据不同使用工艺条件缩短***周期

真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏

定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照***指导书进行***；或者根据实际使用工况进行***。

真空泵选型

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

    简析真空技术的应用与发展

    冶金工业：冶金工业需用到的真空技术包括钢液真空处理、真空熔炼、真空感应熔炼、感应壳熔炼、真空电弧重熔等。其中，真空钢液处理是冶金工业很重要的一方面。这项技术主要应用于原子能工业，宇宙空间技术、海洋钻探技术、燃气发动机技术、汽车工业、飞机制造业、高速列车等高技术工业中，对钢中的某些元素进行控制和处理，对钢铁材料的寿命、可靠性提出了越来越高的要求。目前各种应用行业拥有现代化的真空处理设备，大大降低了钢中氮、氢、氧等杂质的含量，处理水平也不断提高。美、日、德等国已经将此项技术作为***标准，并对其轴承钢、电工用钢和大型锻件采用１００％的真空脱气处理，完成现代化钢铁工业的基本要求。

　　电子与微电子工业：微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，日本真空厂商的销售额中60%左右是面向电子工业，而当今的超大规模集成电路大约有３／４的工序需要有真空条件。

　　机械制造行业：这是一个带动性强、带动作用广的产业，目前欧债危机的阴霾仍未散去，各国积极将机械制造产业作为提振经济的***。它的技术应用一般集中在真空热处理、真空钎焊、真空涂层刀具等传统领域。真空热处理是指将真空技术与热处理技术紧密结合的新型热处理技术。它对工具、模具和精密耦件的处理可起到提高使用寿命、加速化学热处理的吸附和反应过程等特点。另外，它本身工艺操作灵活、无公害的特点成为行业常用的处理手段。