真空泵的选型要点及用途

　　1、确定工作真空范围

　　首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

　　2、确定极限真空度

　　在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

　　3、被抽气体种类与抽气量

　　检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

　　4、真空容积

　　检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。

　　考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

　　5、真空泵计算公式

　　S=2.303V/tLog(P1/P2)

　　其中：

　　S为真空泵抽气速率(L/s)

　　V为真空室容积（L）

　　t为达到要求真空度所需时间(s)

　　P1为初始真空度(Torr)

　　P2为要求真空度(Torr)

真空泵的分类

01

按性能特点和用途分类

（1）低真空泵

泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

（3）高真空泵

极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

（4）超高真空泵

极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。

20世纪初以后真空技术不断发展，真空设备种类越来越多，应用领域也逐渐扩大。按照真空泵的工作原理，可以将其分为气体传输泵和气体捕集泵两种基本类型。气体传输泵主要是通过不断的吸入和排除气体达到抽气目的，气 体捕集泵通过使气体分子被吸附或者凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的。