真空泵的基础单位

1、真空泵的极限压强，真空泵的极限压强的单位是PA，指的是真空泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。

2、真空泵的抽气速率，真空泵的抽气速率单位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩的位置测得的平衡压强之比。简称为泵的抽速。

3、真空泵的抽气量，真空泵的抽气量是指泵入口的气体流量。真空泵的抽气量单位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。

4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强是指真空泵无损坏起动并有抽气作用时的压强，单位为Pa。

正确的选择真空泵需要注意的事项

1、正确地组合真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵选型

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵选型方法

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定，泵工作时，需要注意以下两个方面：

1、尽可能要求在区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2、 应避免在真空度或大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域 之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。

二、根据系统所需的气量选择真空泵

初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。