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作者:华诚浩达2022/5/13 6:37:29






正确的选择真空泵需要注意的事项

1、正确地组合真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。




真空泵选型

真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。






真空泵的技术术语

真空泵除主要特性,极限压力,流量和抽气速率之外,尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数。

1、启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力。

2、前级压力。排气压力低于101325Pa的真空泵的出口压力。

3、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

4、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。





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