真空机组设计计算的一般程序

A.真空室总放气量的计算;

B.确定真空室的有效抽速;

C.粗配主泵和粗配前级好凯德真空泵;

D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;

E.绘制真空系统装配草图，确定各部分的尺寸;

F.复核计算各真空泵的参数，如果粗选的真空泵达不到要求，就需要重新选泵和配泵，直到满足各参数要求为止;

G.绘制真空系统装配图;

H.绘制零件图，绘制施工图。

真空机组的类型有哪些呢，怎么组合选型？

真空机组类型：

低真空机组，作业压力高、排气量大，多用于真空运送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵，容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以担任，但依据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件，需装备除尘器、气水油水分离器、枯燥阱等设备。

中真空机组，适用于需求大抽速和获得中真空的各种真空体系中，如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及化工、电工焊接等职业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。跟着螺杆真空泵这样的无油真空泵的鼓起，罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐步增多，适应性更广。

高真空机组,作业于分子流状态下，作业压力区间在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛提高泵以及低温冷凝泵等来承担，因为它们无法直接在大气下作业，因而必须装备前级泵、预抽泵等，特殊情况下为防止气压动摇还需求装备维持泵与储气罐等。

超高真空机组,作业压力区间在10-6～10-10Pa，需求主泵的极限真空要在10-7～10-8Pa以上且在作业压力区间内确保相应的抽速，如溅射离子泵、涡轮分子泵等，并且对体系组成的资料要求能饱尝200～450℃高温烘烤并确保低漏气率与出气率等。

真空机组的分类及概述

高真空抽气机组工作真空度为10-2~10-3Pa,其极限真空度为10-4Pa。机组的主泵通常为油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，需要配里预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级贮气罐，以防止气压波动，改善机组性能。

超高真空抽气机组工作在10-6~10-8Pa。除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200-450℃的高温烘烤外，对机组的要求还有:主泵的极限真空要高，至少在10-7~10-8Pa以上。在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速。来自主泵的返流气体的分压力要足够低;对被抽气体选择性强的主泵要配备足够大的辅助泵;机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件材料的选择和密封要特别慎重.一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封圈。

耐腐蚀真空机组叶轮裂纹的原因

断裂形态分析

从叶轮上切下叶片样品，观察裂纹从叶尖向后部盖板以及叶片和轮毂之间的连接处扩展。实际上裂纹的总长度为70 ~ 80 mm，从叶片截面观察到垂直于裂纹扩展方向的疲劳台阶，这是金属疲劳断裂的基本宏观特征。断口扫描电镜观察，疲劳阶段形成的海滩图清晰可见。低滑动系数钢的疲劳条纹越来越短，叶轮转速越来越高，很难观察到典型的疲劳条纹。但叶片断口平直，断口上有疲劳弧形成的滩纹。