氦质谱检漏仪概述

氦质谱检漏仪为气体工业领域名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。

灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，Z后打到离化室上形成电子流，成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电压U(即离子加速电原)作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。

对检漏方法的具体要求

1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2、反应时间短，可以提高工作效率；

3、能***、定量，不仅能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；

6、所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；

7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。