真空泵的***

　真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时***或根据不同使用工艺条件缩短***周期

真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏

定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照***指导书进行***；或者根据实际使用工况进行***。

真空泵选型方法

1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

真空泵常用性能参数详注

1．抽气速率(体积流率)(s单位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上的位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

2．极限压力（极限真空）（单位：Pa/MPa/mmHg）

泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的低的稳定的压力。

3．起动压力

泵无损坏起动并有抽气作用的压力

4．前级压力

排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

5．前级压力

超过了能使泵损坏的前级压力。

6．工作压力

对应抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·

7．抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流经泵入口的气体流量。

8．压缩比

泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

综上所述：真空泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵重要的参量。