真空泵选型方法

1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

真空泵选型

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵的技术术语

真空泵除主要特性，极限压力，流量和抽气速率之外，尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数。

1、启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力。

2、前级压力。排气压力低于101325Pa的真空泵的出口压力。

3、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

4、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。

安捷伦真空泵维护***

1.根据需耍检杏油位，至少每列一次，

2.报椐具体应用更换油，3-6个月，

3.每次史换油.检测并淸洁入口过滤器.

4.每年淸洁或更換气奨过滤器，

5.每年消洁马达风扇盖子和外壳，

6.消洁和对泵做彻底检資并根据需要更换叶片，3-4年左右

7.更换电咨器.4年左右

8.测试马达状况，4年左右，

■***前，洁泵体，切断电源，it泵冷却，换_F的密封件不要屯复使用，

■***后，确认转向，检杏泄玆，打开气镇阀运行1,5-2,5h +关闭气镇阀运行0,5h