真空泵的***

　真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时***或根据不同使用工艺条件缩短***周期

真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏

定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照***指导书进行***；或者根据实际使用工况进行***。

浅谈螺杆真空泵

螺杆转子是螺杆真空泵中关键的抽气部件，直接决定着泵的工作性能和使用寿命，其加工制造成本约占整个螺杆泵总成本近一半。螺杆转子的设计与制造则是整个螺杆泵生产中的关键技术之一，也是国内各企业开发、研制螺杆真空泵过程中所普遍面临的技术难题。由于螺杆真空泵螺杆转子的设计理论尚不够成熟，且有技术保密因素，致使关于螺杆真空泵转子设计的公开资料十分稀少。国内不同单位中从事螺杆真空泵开发研制的研究学者和技术人员，大多是从基础原理出发，开展研究工作，发现和解决开发工作中所遇到的一个个技术难题，制约了国内螺杆真空泵开发生产的速度与水平的提高。

安捷伦真空泵维护***

1.根据需耍检杏油位，至少每列一次，

2.报椐具体应用更换油，3-6个月，

3.每次史换油.检测并淸洁入口过滤器.

4.每年淸洁或更換气奨过滤器，

5.每年消洁马达风扇盖子和外壳，

6.消洁和对泵做彻底检資并根据需要更换叶片，3-4年左右

7.更换电咨器.4年左右

8.测试马达状况，4年左右，

■***前，洁泵体，切断电源，it泵冷却，换_F的密封件不要屯复使用，

■***后，确认转向，检杏泄玆，打开气镇阀运行1,5-2,5h +关闭气镇阀运行0,5h