氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。

氦质谱检漏仪的工作原理是什么？

检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外，还有几组主要电路：

1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。

2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。

5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被***后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。

氦质谱检漏仪使用条件

氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是氦质谱检漏仪的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30cm的通风间距。

放置好氦质谱检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的***。氦质谱检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用的针对机械泵型号的油。