真空泵的基础单位

1、真空泵的极限压强，真空泵的极限压强的单位是PA，指的是真空泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。

2、真空泵的抽气速率，真空泵的抽气速率单位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩的位置测得的平衡压强之比。简称为泵的抽速。

3、真空泵的抽气量，真空泵的抽气量是指泵入口的气体流量。真空泵的抽气量单位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。

4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强是指真空泵无损坏起动并有抽气作用时的压强，单位为Pa。

真空泵选型方法

选择真空机组：

(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。

(2) 有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。

真空泵选型

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵的定子曲线要求

真空泵的定子曲线对其抽气速率等性能参数有直接影响，因而，获得出色的定子曲线对真空泵的计划至关重要。关于真空泵的定子曲线，有以下几点恳求:

(1)适合的两点距离

由于叶片选用一体计划，刚性增强，某一端的弹性一定构成另一端相应的弹性。所以，不论转子转到嘟个角度。曲线有必要确保一同与旋片两头接触。坚持合理的空隙.防止出现脱空现象而致使泄泊增加。

(2)叶片无冲击振动，噪声出色

滑润的定子曲线也不能有过大的加速度，加速度过大会致使旋片某一端对定子曲线外表的压皿力的增大，会增加磨损和嗓音。但是假设定子曲线上某一点的径向速度发作变化，则该点上的径向加速度。理论上的等于无穷大。若a为无穷大。则叶片在这一点将出现霎时间脱离，发作很大的冲击力。构成很大的嗓声和严重的磨投。为了消除这一现象，恳求定子曲线遍地光滑连续，滑润过波。

(3)有较大的抽气速率

新的定子曲线在增大抽气速率的一同，也应当具有现有曲线的速度和加速度特性。现在，真空泵的定子曲线主要以正圆曲线为主。主要是考虑到正回曲线具有出色的速度和加速度特性，减少了真空泵作业过程中的嗓音和冲击。