氦质谱检漏仪的应用

（1）电子行业，微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（2）真空行业，仪器、仪表行业，管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、镀膜机、薄膜真空计。

（3）核工业，铀分离装置、存储装置、核发电装置。

（4）制冷行业，冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。

（5）不锈钢保温器皿，真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

（6）核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、军事电子六大类。

氦质谱检漏仪使用条件

氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是氦质谱检漏仪的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30cm的通风间距。

放置好氦质谱检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的***。氦质谱检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用的针对机械泵型号的油。

正压法氦质谱检漏

采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。

真空压力法氦质谱检漏

采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。