氦质谱检漏仪的应用

氦质谱检漏仪的行业应用，KM6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用氦质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力氦气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。航天工业中，各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。

氦质谱检漏仪示踪气体选择

对示踪气体的要求：氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体，也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。

氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，质量轻，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点：

1、无害，不能对***或环境造成伤害。

2、质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝。

3、化学性质稳定，不会起化学反应。

4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。

氦质谱检漏仪的检漏方式有哪些

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。