超高真空泵 是指在超高真空规模作业的真空泵。

 增压泵 增压泵通常指作业在低真空泵和高真空泵之间，用以进步抽气体系在中心压强规模的抽气量或下降前级泵抽气速率需求的真空泵。

单极旋片式真空泵是一种新颖的规划较为完善的单极旋片式真空泵，它可以在尽情进口压强下作业。 规划特征：

一、在泵的内部装有油雾消除器，能有用地消除泵排出的气体中的油雾，避免油雾对周围环境的污染。

二、在泵的吸气口装有逆止阀，当泵间断时逆止阀与泵内专门设置的孔的联合作用下，可以立即使泵与被抽系统隔绝，避免泵油返入被抽系统，一起坚持了被抽容器的真宽度，因此运用本型真空泵洋就可以不需要再配备带有放气的真空截止阀，然后可以减少用户的运用费用。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及富含颗粒尘土的气体。

三、本型泵配有油气分离器，它与油雾消除器一起组成了有用的消音系统，能消除排气噪音，避免噪音污染。

旋片泵的抽速与进口压强的联系规则如下：在进口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值别离不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

　　旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、绷簧等组成。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。在旋片泵的腔内偏心肠装置一个转子，转子外圆与泵腔内外表相切（二者有很小的空隙），转子槽内装有带绷簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和绷簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁坚持触摸，转子旋转股动旋片沿泵腔内壁滑动。