磁传感器是把磁场、电流、应力应变、温度、光等外界因素引起敏感元件磁性能变化转换成电信号,以这种方式来检测相应物理量的器件。磁传感器广泛用于现代工业和电子产品中以感应磁场强度来测量电流、位置、方向等物理参数。在现有技术中,有许多不同类型的传感器用于测量磁场和其他参数。磁传感器就是把磁场、电流、应力应变、温度、光等引起敏感元件磁性能的变化转换成电信号,以这种方式来检测相应物理量的传感器。
磁传感器广泛用于现代工业和电子产品中以感应磁场强度来测量电流
磁传感器广泛用于现代工业和电子产品中以感应磁场强度来测量电流、位置、方向等物理参数。在现有技术中,有许多不同类型的传感器用于测量磁场和其他参数,例如采用霍尔(Hall)元件,各向异性磁电阻(Anisotropic Magnetoresistance, AMR)元件或巨磁电阻(Giant Magnetoresistance, GMR)元件为敏感元件的磁传感器。以霍尔元件为敏感元件的磁传感器通常使用聚磁环结构来放大磁场,提高霍尔输出灵敏度,从而增加了传感器的体积和重量,同时霍尔元件具有功耗大,线性度差的缺陷。AMR元件虽然其灵敏度比霍尔元件高很多,但是其线性范围窄,同时以AMR为敏感元件的磁传感器需要设置Set/Reset线圈对其进行预设/复位操作,造成其制造工艺的复杂,线圈结构的设置在增加尺寸的同时也增加了功耗。以GMR元件为敏感元件的磁传感器较之霍尔电流传感器有更高的灵敏度,但是其线性范围偏低。
底电极层(BottomConductingLayer)和顶电
底电极层(Bottom Conducting Layer)和顶电极层(Top Conducting Layer)直接与相关的反铁磁层和自由层电接触。电极层通常采用非磁性导电材料,能够携带电流输入欧姆计,欧姆计适用于已知的穿过整个隧道结的电流,并对电流(或电压)进行测量。通常情况下,隧道势垒层提供了器件的大多数电阻,约为1000欧姆,而所有导体的阻值约为10欧姆。底电极层位于绝缘基片(Insulating Layer)上方,绝缘基片要比底电极层要宽,且位于其他材料构成的底基片(Body Substrate)的上方。底基片的材料通常是硅、石英、耐热玻璃、GaAs、AlTiC或者是能够于晶圆集成的任何其他材料。硅由于其易于加工为集成电路(尽管磁性传感器不总是需要这种电路)成为的选择。
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