无尘车间门窗 安装要求
1门窗应闭合严密。门的表面应平滑、防吸附、不渗透，并易于清洁、消毒。应使用不透水、坚固、不变形的材料制成。
2清洁作业区和准清洁作业区与其他区域之间的门应能及时关闭。
3窗户玻璃应使用不易碎材料。若使用普通玻璃，应采取必要的措施防止玻璃破碎后对原料、包装材料及食品造成污染。
4 窗户如设置窗台，其结构应能避免灰尘积存且易于清洁。可开启的窗户应装有易于清洁的防虫GB 14881—2013
无尘车间洁净室行业术语1、洁净室空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。众所周知，在无尘车间中，都需要保持温度与湿度平衡以此来进行满足生产工艺对于环境的要求。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。2、洁净区洁净区又称洁净棚，是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。3、移动式洁净小室移动式洁净小室又称为移动式洁净棚，可整体移动位置的小型洁净室，有刚性和柔性材料围挡两类4、人身净化室人身净化室又称风淋室，是人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。5、物料净化用室物料净化用室又称货淋室，是物料进行入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。6、粒径粒径是给定粒径测定仪所显示的与被测粒子的响应量相当的球形直径。7、悬浮粒子悬浮粒子用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1-5UM的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理 性、化学性、放1射性及生命体。8、超微粒子超微粒子是具有当量直径小于0.1UM的粒子。9、微粒子微粒子是具有当量直径大于5UM的粒子10、粒径分布粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。
无尘车间要控制相对湿度，以下几个影响因素也是关键：
金属腐蚀：很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增1高而加快。也就是说千级、万级只是指灰尘数量，自然的级别数值越小，等级越高。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。
水汽冷凝：在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。在无尘车间的施工完成后，为了证明达标，一般都需要对无尘车间中的洁净度进行测试。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。
光刻的退化：这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。无尘车间是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
还有就是吸水性，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响；较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。
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