无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。1、1级：级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精1确要求为亚微米。

无尘车间对基础地坪的要求 1.施工地面含水率：不得大于8%。

2.地面强度与地面粗糙度：一般要求地面强度不小于300kg/cm2(C30)，厚度保证在20cm以上，终地面粗糙度为铁板光(0.8～1.6)。

3.地板平整度：一般要求地板在任意的2平方米内平整度不得大于2mm，测量可以采用2米长的检查直尺与塞尺进行，如果超差，可用砂轮机或角   向磨光机进行平整度的整改。

4.防止施工缺陷：地面要求不空鼓、无裂缝、不起砂、无油漆、胶水、放1火涂料等附着物，无柴油、煤油、机油等油类浸透的油渍、无积水及化学物质浸损地面的现象。

无尘车间清洁要求

   (1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;

   (2)、用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂;

   (3)、使用已获批准的洁净室去污剂;

   (4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。

   (5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。

   (6)、清洁洁净室的地面应使用拖把。

   (7)、在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。

   (8)、所有的门都需要检查并擦干

   (9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

   (10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。

   (11)、更换好防静电服，戴好、口罩，经风浴吸尘通道除尘后，进入洁净室。

   (12)、准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后，开始清洁工作。

   (13)、捡拾地面垃圾，按生产线排列次序由里向外逐一进行。