无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。1顶棚应使用***、无味、与生产需求相适应、易于观察清洁状况的材料建造。

对于无尘车间而言，若是想要获得出色的洁净效果，与它的装修施工是离不开关系的。因此，无尘车间的装修施工中，对于施工的要求是十分严格的。我们只有做到了无尘车间的装修施工要求，才能有效控制空气悬浮微粒浓度，从而到达恰当的微粒洁净度等级。(12)、准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后，开始清洁工作。

无尘车间对基础地坪的要求 1.施工地面含水率：不得大于8%。

2.地面强度与地面粗糙度：一般要求地面强度不小于300kg/cm2(C30)，厚度保证在20cm以上，终地面粗糙度为铁板光(0.8～1.6)。

3.地板平整度：一般要求地板在任意的2平方米内平整度不得大于2mm，测量可以采用2米长的检查直尺与塞尺进行，如果超差，可用砂轮机或角   向磨光机进行平整度的整改。

4.防止施工缺陷：地面要求不空鼓、无裂缝、不起砂、无油漆、胶水、放1火涂料等附着物，无柴油、煤油、机油等油类浸透的油渍、无积水及化学物质浸损地面的现象。