广州苏盈电子科技-沼气气体流量控制阀

热分布式TMF可测量低流速（气体0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式TMF更适合于大管径。热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。热式质量流量计响应慢。

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热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。

通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响

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热气体质量流量计是利用热传导原理测量流量的仪器。该仪器通过恒温差停止测量气体的质量流量。因此介质温度与介质的比热是关键参数。流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。但在现场实际测量中，介质纯度并不那么高。虽然流量计的设计精度没有下降，但测量值可能与实际值有一定的偏差，这也是为什么热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，需要将加热探头加热到比介质温度高50度的状态。

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热质量流量计采用传热原理。当两个温度传感器放置在测量气流中时，一个温度传感器用来感应气流的温度，另一个传感器加热到高于测量的气体温度。气量增加了，加热传感器被带走的热量也增加了。
通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。

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热式气体质量流量计在装置时有很多事项需要注意。热式气体质量流量计的传感器由两个基准铂电阻温度传感器组成，一个测量流量温度，另一个保持高于温度的恒温差。

热式气体质量流量计恒温差测量中心点是保证两个探头之间的温度恒定,热质量流量计采用传热原理。当两个温度传感器放置在测量气流中时，一个温度传感器用来感应气流的温度，另一个传感器加热到高于测量的气体温度。气量增加了，加热传感器被带走的热量也增加了。

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热力流量计是根据热扩散原理设计的流量仪表，即利用液体流经发热体时，发热体的热量散失与流体流量呈一定比例关系.该系列流量计的传感器有两个标准级RTD，一种用来测量流体温度，一种用来测量流体温度,

热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合。

也可用于家用膜式燃气表的使用中检查，该装置操作简单、快捷，易于直观的得到测量结果。标准表法气体流量标准装置是国际上普遍使用的一种气体流量标准装置。

不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量。分流型热分布式仪表应用于30~50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。

有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏***，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响，只能水平安装，水平度允差±20。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。该仪器通过恒温差停止测量气体的质量流量。热气体质量流量计有很多优点。毕竟它们的体积比较小，装置也很方便，测量也很准确。

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虽然流量计的设计精度没有下降，但测量值可能与实际值有一定的偏差，这也是为什么热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，导致传感器灵敏度降低，终影响了测量精度。“湿”传感器的填充物由于与速度传感器的热膨胀系数不同，随着使用时间的加长会产生老化、龟裂等现象，终会导致传感器的测量精度超差，且难以维持长期精度。热气体质量流量计可用于测量介质。热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。

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价格相较于科里奥利质量流量计便宜很多。量程比窄是孔板流量计的一大缺点，但是近年来蓬勃发展双量程孔板流量计，能将其量程比扩大到33倍，而且达到1.0％不确定度，从而弥补了该缺陷。高纯气体的纯度极高，组分的变化完全可以忽略不计，因此，气体的密度除了受温度、压力及压缩系数影响之外，无其他因素。即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此外还具有快速响应的能力。恒功率原理可以检测较高的流速变化，在大流速应用场合有非常好的表现力，但低流速特性不如恒温差，其次响应时间相对于恒温差较差。

热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，恒温差原理具有非常好的的低流量特性，即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此低压标定后的表应用在高压工况，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度无法保证。然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。

浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量,热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。使用空气流量计时，通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。