广州苏盈电子科技-压缩空气MEMS流量测量
使用 空气流量计时，通过 过流式 流量计 推动 涡轮叶片 转动 。 叶片 转速 与流过 空气流量计的气量 成正比 。 流量计 口安装 有一 特殊 设计 的 导流 架，随着 流量 的增大 ，对进入 流量计的气流 进行 加速 。 采用 导向 架可以 消除 涡流 、非对称 流等潜在 流体 扰动 。 同时 ，推动 涡轮叶片 的动力 增加 。 在允许 的误差 范围 内，确保 高精度 测量 ，即使 在小流量 条件 下也能 测量 。 涡轮机 叶片 上的气流 为轴向 运动 ，涡轮机 装置 在主传动轴 上，传动轴 装有 高强度 球轴承 。 空气 经过 涡轮叶片 后，涡轮叶片 的旋转 通过 齿轮 减速 。 风量 计入 通道 压力 回退 ，通道 设计 保证 了流态 的优化 。

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流体 计量 是研究 物质 量变 的科学 ，质量 互变 规律 是事物 发展 的基本规律 ，因此 其测量 对象已不局限于 传统意义 上的液体 管道 ，凡需掌握 量变 的地方 ，都存在 流量测量 的问题 。 流速、压力 、温度 均列为 三大 检测 参数 。 对某一 特定 流体 ，只需知道 这三个 参数 即可 计算 出它具有 的能量 ，在能量转换 测量 中必须 检测 这三个 参数 。 能源 转化 是所有 生产工艺 和科学试验 的基础 ，因此 ，流体 和压力 、温度表 一样 被广泛应用 。



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将能源 划分 为一次能源 (煤、 、煤层气 、 和 )、二次能源 (电力 、焦炭 、人工煤气、成品油 、液化气 、蒸汽 )和载能工质 (压缩空气 、氧、氮、氢、水)等。 能量 计量 是对能源 进行 科学管理 ，实现 节能降耗 ，提高 经济效益 的重要 手段 。 用水 、人工 燃气 、 、蒸汽 、石油 这几种 常用 的能源 ，都采用 了极为 庞大 的流量计 ，在能源管理 和经济核算中起着举足轻重 的作用 。废气 、废液 、污水 等排放 严重 污染 大气 和水资源 ，严重威胁 着人类 的生存环境 。 21 世纪，*** 把可持续发展 列为 国策 ，环境保护 将成为 重中之重 。 要控制 大气 、水的污染 ，必须加强管理，而治理 的基础 是定量 控制 。

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当两个温度传感器放置在测量气流中时，一个温度传感器用来感应气流的温度，另一个传感器加热到高于测量的气体温度。气量增加了，加热传感器被带走的热量也增加了。因此应用越来越广泛。许多站房压缩机的流量标定或节能标定活动，以及许多后处理厂家的试验室，我们都可以看到许多热质流量计的身影。途径有五种：铁路、航空、水运、管道运输。而管道运输虽然早已存在，但其应用却并不普遍。由于环境保护问题的突出，管道运输的特性越来越受到重视。管线输送必须配备流量计，它是控制、分配和调度的眼睛，也是监控安全、经济核算的必要工具。

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流量计、涡街流量计、热质或压差式流量计。压气机制造厂空压机出厂检验，多采用精度较高的压差式流量计(如A***E喷嘴)测量流量，而在空压机站房内压缩空气流量测量更多采用热式流量计。

虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。

TMF使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

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热式质量流量计一般在测量气体时必须是干燥的气体，不能含有水分。流体可能产生的沉积、结垢和凝结会影响仪器的性能。热式质量流量计测量气体时，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，

用于监控取样气体量。分流型热分布式仪表应用于30~50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。

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价格相较于科里奥利质量流量计便宜很多。量程比窄是孔板流量计的一大缺点，但是近年来蓬勃发展双量程孔板流量计，能将其量程比扩大到33倍，而且达到1.0％不确定度，从而弥补了该缺陷。高纯气体的纯度极高，组分的变化完全可以忽略不计，因此，气体的密度除了受温度、压力及压缩系数影响之外，无其他因素。即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此外还具有快速响应的能力。恒功率原理可以检测较高的流速变化，在大流速应用场合有非常好的表现力，但低流速特性不如恒温差，其次响应时间相对于恒温差较差。

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热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，恒温差原理具有非常好的的低流量特性，即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此低压标定后的表应用在高压工况，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度无法保证。然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。

浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量,热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。使用空气流量计时，通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。

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流量计一般安装在管道上，部分存在着拆卸不方便的情况，而且拆下送检的时间会较长，由此而提出了在线检测的要求。
检测小流量气体流量计标准装置的研制能够满足对小流量气体流量计如浮子、皂膜等的测量要求，也可用于家用膜式燃气表的使用中检查，该装置操作简单、快捷，易于直观的得到测量结果。热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。



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热式气体质量流量计有以上的优点， 在锅炉风量测量中得到广泛应用，热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响。由于锅炉风量测量研究主要在一次风、二次风、烟道和脱硫脱硝等部位，
热分布式 大部分热分布式TMF的流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏***，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。

质或压差式流量计。压气机制造厂空压机出厂检验，多采用精度较高的压差式流量计(如A***E喷嘴)测量流量，而在空压机站房内压缩空气流量测量更多采用热式流量计。以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量。分流型热分布式仪表应用于30~50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。