广州苏盈电子科技-氮气MEMS流量测量
高纯 气广泛应用 于各行业 和工业生产 中，通常 用空气分离工艺 来制取 ，用气态 性高纯气体通过 管道 或钢瓶 收集 容器 输送 给用户 ，用槽车 运输 给用户 。 对于 高纯气体 管道 输送 工艺 ，贸易 转换 计量 通常 采用 气体流量计 ，其公称 通径 在50 毫米 至数百 毫米 之间 。 大多数 交接点 交接点 数量 大，结算 额高 ，往往 是由供需双方 各装一套 流量计 ，从而 做到 公平 计量 ，万无一失 。
对于 高纯气体 流量计 的选择 ，由于 测量 对象 的特点 和传统 习惯 ，多选用 标准 孔板流量计 ，此类 流量计 有以下 特点 ：1)工作 稳定 ，抗干扰能力 强，维修 更换 简单 方便 。2)流量测量 范围广 。测量 的准确性 可以 满足 气体 交易 交接 的要求 。

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便于 计量检定 。 大多数 的检定 方法 都是 几何 检定 ，方法 简单 ，成本 较低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通过 几何 法检定 后，再用实流法进行 一次 检定 。 经验 证，1套流量计 各环节 均合格 ，实流检定 也能 合格 。5)价格 与科里奥利质量流量计 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量计 的一大 缺点 ，但近几年来 ，双量程 孔板流量计 的发展 ，可以 将量程 比扩大 到33 倍，并达到 1.0 %的不确定度 ，弥补 了这一 缺陷 。在采用 差压式流量计 测量 蒸汽流量时，必须 把气相差 压信号 转化 为凝块 。
并且 由于 高纯气体 无尘 、无水滴 、无油 污染 ，为高纯气体 的测量 创造 了优越 的条件 。



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热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

能源计量是科学管理能源，实现节能降耗，提高经济效益的重要手段。流量仪表是能源计量仪表的重要组成部分，水、人工燃气、、蒸汽和油品这些常用的能源都使用着数量极其庞大的流量计，它们是能源管理和经济核算不可缺少的工具。

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热质量流量计采用传热原理。当两个温度传感器放置在测量气流中时，一个温度传感器用来感应气流的温度，另一个传感器加热到高于测量的气体温度。气量增加了，加热传感器被带走的热量也增加了。
主要用于工业管道介质流体的流量测量,如气体、液体、蒸气等多种介质。其特点是压力损失小,量程范围大,精度高,在测量工况体积流量时几乎不受流体密度、压力、温度、粘度等参数的影响。无可动机械零件，因此可靠性高,维护量小。仪表参数能长期稳定。



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高经济效益的重要手段。流量仪表是能源计量仪表的重要组成部分，水、人工燃气、、蒸汽和油品这些常用的能源都使用着数量极其庞大的流量计，它们是能源管理和经济核算不可缺少的工具。热式气体质量流量计在装置时有很多事项需要注意。热式气体质量流量计的传感器由两个基准铂电阻温度传感器组成,热式质量流量计广泛应用于环保和工业中。热式质量流量计一般在测量气体时必须是干燥的气体，不能含有水分。流体可能产生的沉积、结垢和凝结会影响仪器的性能。热式质量流量计测量气体时，流体温度的变化不像体积流量计随气体体积的变化而变化，不影响热式质量流量计的测量。

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热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合,热力流量计是根据热扩散原理设计的流量仪表，即利用液体流经发热体时，发热体的热量散失与流体流量呈一定比例关系.该系列流量计的传感器有两个标准级RTD，一种用来测量流体温度,标准表法气体流量标准装置是国际上普遍使用的一种气体流量标准装置。

热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合。

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作为 以煤炭 为主要 能源 的*** ，*** 已有 上百万 个烟囱 不断 向大气 排放 烟气 。 排放 控制 是 污染 的重要 项目 ，每一个烟囱 都要 安装 烟道 分析仪器 和流量计 ，组成 连续 排放 监控系统 。 烟道 气流量 有很大 原因 是烟道 尺寸 不规则 、气速变化 不定 、流速 范围 大、脏、尘、腐蚀 、高温 、无直管 段等。途径 有五种 ：铁路 、航空 、水运 、管道运输 。 而管道运输 虽然 早已 存在 ，但其应用 却并不普遍 。 由于 环境保护 问题 的突出 ，管道运输 的特性 越来越 受到重视 。 管线 输送 必须 配备 流量计 ，它是控制 、分配 和调度 的眼睛 ，也是监控 安全 、经济核算 的必要 工具 。



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有许多 方法 可以 测量 压缩空气 的流量 ，如转子流量计 、涡街流量计、热质 或压差 式流量计。 压气机 制造厂 空压机 出厂 检验 ，多采用 精度 较高的压差 式流量计 (如A***E 喷嘴 )测量 流量 ，而在空压机 站房 内压缩空气 流量测量 更多 采用 热式流量计。热质 流量计 便携 、安装简单 、灵活性 好、无压差 ，因此 应用 越来越 广泛 。 许多 站房 压缩机的流量 标定 或节能 标定 活动 ，以及 许多 后处理 厂家 的试验室 ，我们都 可以 看到 许多 热质 流量计 的身影 。热质量流量计 采用 传热 原理 。 当两个 温度传感器 放置 在测量 气流 中时 ，一个 温度传感器 用来 感应 气流 的温度 ，另一个 传感器 加热 到高于 测量 的气体 温度 。



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气量 增加 了，加热 传感器被带走 的热量 也增加 了。 即，两个 传感器 的温度差 会随着 空气 流量 的变化 而变化 。 从而 可以 根据 测得 的温度差 来计算 被测点 气流 的质量流量 。热力 流量计 是根据 热扩散 原理 设计 的流量仪表 ，即利用 液体 流经 发热体 时，发热体 的热量散失 与流体 流量 呈一定 比例 关系 .该系列 流量计 的传感器 有两个标准级 RTD ，一种 用来 测量 流体 温度 ，一种 用来 测量 流体 温度 ，当流体 流动 时，两者之间 的温度差 与流量 的大小 成线性关系 ，再通过 微电子 控制技术 将这种 关系 转换 为线性 输出 ，用于 测量 流量 信号 。

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小流量条件下也能测量。涡轮机叶片上的气流为轴向运动，涡轮机装置在主传动轴上，传动轴装有高强度球轴承。空气经过涡轮叶片后，涡轮叶片的旋转通过齿轮减速。推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。

在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量。分流型热分布式仪表应用于30~50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。

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流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。

同时，推动涡轮叶片的动力增加。在允许的误差范围内，确保高精度测量，即使在小流量条件下也能测量。涡轮机叶片上的气流为轴向运动，涡轮机装置在主传动轴上，传动轴装有高强度球轴承。空气经过涡轮叶片后，涡轮叶片的旋转通过齿轮减速。风量计入通道压力回退，通道设计保证了流态的优化。能源转化是所有生产工艺和科学试验的基础，因此，流体和压力、温度表一样被广泛应用。

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作为以煤炭为主要能源的***，***已有上百万个烟囱不断向大气排放烟气。排放控制是污染的重要项目，每一个烟囱都要安装烟道分析仪器和流量计，组成连续排放监控系统。即利用液体流经发热体时，发热体的热量散失与流体流量呈一定比例关系.该系列流量计的传感器有两个标准级RTD，一种用来测量流体温度，一种用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与
流量的大小成线性关系,高量程比差压流量装置，可测量气体、蒸汽、液体及的流量，广泛应用于石油、化工、冶金、电力、供热、供水等领域的过程控制和测量。