特长

● 可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa

● 0~10V的线性压力输出，可直接接PLC使用

● 带有LED故障提示

● 传感器更换简便，可由客户自行更换

● SW1-N1型带有2点开关信号输出

● SW1-N2型带有RS-232C/RS-485通信接口

用途

◆ 可用于半导体、电子元件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理

◆ 可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理，可用于光伏、制冷、照明等行业

ULVAC机工株式会社作为专门制造销售小型真空泵及小型真空仪器、装置的厂家，产品应用于各行业的高、中、低真空领域。特别是真空仪器、装置上配用的小型真空泵，产品品种、品质均处于领xian地位，满足了各小型真空泵的***使用厂家的需求。

爱发科ULVAC主要生产各种油旋片泵、罗茨泵、机组（含规格品）、排气小车。已为***爱发科真空泵用户维修***超过350台，正常持续运转中。计划年产量为20000台，销售收入8000万元，其中50%以上产品返销日本及出口到世界各地。产品广泛应用于空调、冰箱、照明、电子、光学、材料、化工、食品等行业的设备和自动化生产线上，产品应用范围覆盖了从一般工业技术到尖jian端技术的商品群。

真空泵的选择及抽速计算

(1)计算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q，计算泵的有效抽速

S=Q/pg

式中，Q为真空系统的总气体量，Pa. L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。

通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

(2)确定真空泵的抽速。

根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有

1/S=1/Sp +1/U

(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵 。

(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求绝dui无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。

(5)根据***及日常维护运转的经济指标来选择。

03、前级泵的配置及抽速确定

主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件;

② 抽走主真空泵产生的z大气体量;

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的z大压力时所需的预抽时间要求。