兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解什么是干法蚀刻：

电浆干法蚀刻主要应用于集成电路制程中线路图案的定义，通常需搭配光阻的使用及微影技术，其中包括了1)氮化硅(Nitride)蚀刻：应用于定义主动区；2)复晶硅化物/复晶硅(Polycide/Poly)蚀刻：应用于定义闸极宽度/长度；3)复晶硅(Poly)蚀刻：应用于定义复晶硅电容及负载用之复晶硅；4)间隙壁(Spacer)蚀刻：应用于定义LDD宽度；5)接触窗(Contact)及引洞(Via)蚀刻：应用于定义接触窗及引洞之尺寸大小；6)钨回蚀刻(EtchBack)：应用于钨栓塞(W-Plug)之形成；7)涂布玻璃(SOG)回蚀刻：应用于平坦化制程；8)金属蚀刻：应用于定义金属线宽及线长；9)接脚(BondingPad)蚀刻等。所谓内在性，是指一个公益流程必须要有其内在的特定内容，也可以说是内容的真实性。

影响干法蚀刻特性好坏的因素包括了：1)干法蚀刻系统的型态；2)干法蚀刻的参数；3)前制程相关参数，如光阻、待蚀刻薄膜之沉积参数条件、待蚀刻薄膜下层薄膜的型态及表面的平整度等。

兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些？

干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。尽管热海水缺氧降低了点侵蚀的趋势，且316L不锈钢是蒸发器的传统材料，但是大多现代多级闪蒸海水淡化装置（MSF）不使用316L不锈钢，而大多海水淡化设备出产商开始采用双相不锈钢作为替换材料。蚀刻速率越快，则产能越快，有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制，一般而言，在其它因素尚可接受的范围内，蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标，均匀度越好意谓着有较佳的良率，当晶圆尺寸越来越大，均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳，除了少数特例，如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole)，为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage)，因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。

兴之扬不锈钢蚀刻小编给大家介绍超薄材料的蚀刻加工能力：

相对于冲压工艺，特别是对一硬材质材料和超薄材料，冲压是存在限制和难点的：主要体现在冲压会造成一些精密零件的材料变形，零件侧边缘会存在卷边毛剌。因为小气泡很容易吸附在油膜表面，随着气泡的增多和长大，这些气泡将油膜撕裂成小油滴并带到液面上，同时对溶液起到搅拌作用，加速了钢片表面油膜的脱除速度。而这恰恰是有些零件精密产品所不允许的！而一旦冲压模具确定好后，想要更改的话，就会造成大量的模具成本的浪费。而蚀刻加工正好可以解决冲压工艺所不能达到的要求。蚀刻加工可以针对超薄材料进行随进的模版更改设计，而其成本在大批量生产的情况下，甚至可以忽略不计。而且蚀刻工艺不会对材料和零件产生毛剌。光滑的零件表面完全可满足产品装配的要求。

兴之扬吹风机蚀刻不锈钢网小编给大家介绍表面处理前的工件验收的要求：

（1）焊接组合件的焊缝及热影响区域一般不应在腐蚀区域内。对有特殊要求的工件需要在焊接区域进行腐蚀时，应经过特殊工艺处理后方可进行。

（2）对于非结构工件在焊接区域需要进行金属腐蚀时，应避开焊缝。否则，应与委托加工商协商在蚀刻中可能出现的质量缺陷的处理方法并出具相关技术文件。

（3）工件原材料的厚度应按图样规定的尺寸进行检验。工件的同板差不应超过产品图样中腐蚀深度较大腹板厚度公差的1/2.

（4）经热处理后的待金属腐蚀工件如需较形，应按产品图样要求校形后方可进行化学腐蚀。

（5）对有镶块的工件，应注明镶嵌方式及内部结构，并允许将镶块拆解后分开腐蚀。对于不允许拆解的镶件应说明理由并注明镶缝处理方式。

（6）对行腔工件金属蚀刻如有特别要求的应在产品委托加工文件上注明。

（7）对行腔工件应提供材料的锻造方法及热处理状态。如有特别要求应提供与形腔材料及热处理方法、加工方法一致的样件。

（8）对行腔不规则图形腐蚀（即皮纹腐蚀）应提供胶片，如无胶片应提供清晰实物样品，实物样品尺寸不小于50mm*50mm，并允许在实物样品时存在一定差异。

（9）对工件的图文腐蚀应提供图文胶片或光辉文件，如无胶片或光绘文件则应在交接工艺文件上注明图文大小、字体样式、线条宽度、

（10）对于需要进行图台或图形腐蚀的非结构工件应提供胶片或光绘文件。需要精准***应提供***模。