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作者:兴之扬电子2022/1/1 4:26:56








兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理:

电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成,如图5-3所示,而在电浆中的电子来源通常有二:一为分子或原子解离后所产生的电子,另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron),在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主,而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。工艺简单,精度均匀稳定,不泄漏,再生性能好、再生速度快、安装方便、效率高。

在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了:1)需要较高的功率消耗,也就是说产生的离子密度低;2)须要以离子撞击电极以产生二次电子,如此将会造成电极材料的损耗;3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

在射频放电(RFDischarge)状况下,由于高频操作,使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极,因此这些电子将会在电极间作振荡,并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定,而通常振荡频率下限为50kHz。一般带材或称卷材,宽度20-610mm,可根据客户需要进行分条处理,***窄宽度可分为5mm,我们蚀刻加工的不锈钢带在300宽以上或***少需要达到150mm较好。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。



兴之扬腐蚀不锈钢网片小编给大家介绍什么是湿式蚀刻技术:

早期的蚀刻技术是利用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反应来除薄膜未被光阻覆盖的部分,而达到蚀刻的目的,这种蚀刻方式也就是所谓的湿式蚀刻。海水淡化工程所用的不锈钢要求其在各种复杂环境下的良好耐侵蚀性。因为湿式蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的去除,而化学反应本身不具方向性,因此湿式蚀刻过程为等向性,一般而言此方式不足以定义3微米以下的线宽,但对于3微米以上的线宽定义湿式蚀刻仍然为一可选择采用的技术。

湿式蚀刻之所以在微电子制作过程中被广泛的采用乃由于其具有低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比等优点。但相对于干式蚀刻,除了无法定义较细的线宽外,湿式蚀刻仍有以下的缺点:1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水;2)化学***处理时人员所遭遇的安全问题;3)光阻附着性问题;4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻。304蚀刻不锈钢性能:304蚀刻不锈钢是一种通用性的不锈钢材料,防锈性能比200系列的不锈钢材料要强。



兴之扬金属蚀刻网片小编给大家介绍湿式蚀刻过程可分为三个步骤:

1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面;2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应;3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中,并随溶液排出(3)。三个步骤中进行慢者为速率控制步骤,也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤,各种形态的反应都有可能发生,但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化,再将此氧化层溶解,并随溶液排出,如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻铝、硅时即是利用此种化学反应方式。



除油不净的原因有:溶液事先清洗不干净——除油溶液温度低,时间短——除油溶液浓度低,根据问题出现的原因,对应加强溶剂的清洗工作,提升除油溶液温度到规范区间,加强除油时间以及提高除油溶液浓度到工艺范围就可以解决了,关键是在操作前,作业师傅或者技术员对相关浓度与温度以及时间要有准确的判断,设定合适的蚀刻工艺。因此,所有的不锈钢元素都具有一种共同的特性,即铬含量均在10.5%以上。

工件表面有印迹,主要可能的原因是工件表面残有残碱或者残酸,和材料产生化学反应,有了锈迹,一般是除油和光化处理后清洁不到位引起的,因此要加工强水洗工作,去除残碱残酸;另外材料或者工件在腐蚀场合停留过久也会与空气中的酸碱产生反应,导致印迹的产生,因此工件经过清洗后,要尽快转入防蚀层的制作工序。因为锰的很多参加,镍含量降低到2%~4%,然则,因为铬含量为16%~18%,能包管不锈钢应有的耐蚀性,具有和304根本一样的机械功能和耐侵蚀性。



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