真空泵的使用:
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。满足真空设备的极限真空及工作压强要求。由于每种真空泵都有它的极限真空度,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。若设备严格要求无油时,应该选择各种无油泵,如:无油真空泵、水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油的旋片真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。水环除起液体活塞作用之外,还有对缩压过程,叶轮与配气板之间,轴封件等作用。
每种泵都有一定的工作压强范围,如:SKA型水环式真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。水环真空泵机组:水环真空泵机组自动控制系统能随时根据系统真空度变化自动启停。
真空泵的原理:
电机的圆周运动,通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动,从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压),在泵抽气口处与外界大气压产生压力差,在压力差的作用下,将气体压(吸)入泵腔,再从排气口排出。
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