真空泵的使用：

     真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。满足真空设备的极限真空及工作压强要求。由于每种真空泵都有它的极限真空度，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若设备严格要求无油时，应该选择各种无油泵，如：无油真空泵、水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油的旋片真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。在这种情况下在入口官道上开个小孔以便定量地加入些新鲜的其他，如果使用气体喷射器气蚀现象就不会产生了。

     每种泵都有一定的工作压强范围，如：SKA型水环式真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，普通大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由初级排入低级，然后再排出泵外。

真空泵的原理：

     电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空（负压），在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压（吸）入泵腔，再从排气口排出。

       在旋片真空泵的构造方面，为了能在停泵时避免返油，有的设有能自动切断油路的止回阀，有的设有进气通道截止阀，有的为了能在泵开气镇运转忽然停电时自动切断气路来坚持泵口处于真空形态而设有油泵和控制构造。在附件方面，有消雾器，气息过滤器，阻挠碎玻璃等杂物用的人口过滤器，灰尘过滤器，气水分离器，有控制泵温以进步水蒸气抽除率和维护泵的温控水量调理阀。使橡胶件容易老化，热收缩使运转间隙减少，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的牢靠性。