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在真空状态下进行，特别适合于加工易氧化的材料或纯度要求高的单晶体、半导体等材料。该种工艺方法需要一套设备和真空系统′宋体′; font-weight: normal;">目前电子束加工的小孔为中1μm?，较适合的加工范围为φ0.04~1.20mm深径比一般为5~10，由于孔的加工，加工材料的范围广，因而获得广泛的应用。如在0.1mm厚的BT20板料上加工φ0.2mm的孔，其加工速度高达3000个/秒。新型航空发动机上万个大小不等的冷却孔也采用数字控制的电子束打孔设备加工，效率很高。本田汽车喇叭网罩

人们不仅对于提高小孔加工质量精度、加工效率以及降低成本都有着迫切需求，在航空、航天制造业中，频繁应用到众多带有小孔的零件，而且对小孔的精度要求也是越来越高，被加工零件所采用的绝大多数材料是难加工材料，其中包括硬质合金、 font-weight: normal;">能加工任何导电材料的各种不同截面形状的小孔,小孔径或槽宽可达5μ，尺寸精度可达2μm，表面粗糙度达Ra0.32μm，电火花小孔磨削可达Ra0.08μm，加工微小孔时电极与工件间无任何的机械力作用，所以可加工薄壁、弹性件等低刚度零件，也可在斜面上加工，还可加工一些弯孔。 本田汽车喇叭网罩

化学蚀刻直径0.1mm小孔加工时，不能少的环节需要受到材料厚度的限制。一般情况下，小孔的孔径需要大于材料的厚度，理想的比例是孔径需要是材料厚度的1.5倍，低的话需要是材料厚度的1.2倍，需要加工直径0.1mm的小孔产品，材料厚度就应该是0.1mm以下，厚度为0.03mm/0.05mm/0.06mm/0.08mm等，总之材料越薄蚀刻加工的精度就越高。如果材料厚度大于0.1mm的时候，就不适合用蚀刻工艺来加工直径0.1mm的小孔了。因为此时由于化学蚀刻的药剂的扩张性无法满足蚀刻量。 本田汽车喇叭网罩